金宏氣體：氬氣可用于深紫外光刻激光器中半導(dǎo)體芯片的最小特征的圖案上
2020-07-06 12:56
來(lái)源: 互聯(lián)網(wǎng)
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上證報(bào)中國(guó)證券網(wǎng)訊 金宏氣體(688106)6日在互動(dòng)平臺(tái)上回答投資者提問(wèn)時(shí)表示，氬氣被用于等離子沉積和蝕刻工藝，還可用于深紫外光刻激光器中半導(dǎo)體芯片的最小特征的圖案上。
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