英諾激光回應了提問：可以產(chǎn)生深紫外光、極紫外光，理論上355nm激光光源經(jīng)一次曝光后可變?yōu)?75nm...
2021-07-30 15:41
來源: 深交所互動易
影響力評估指數(shù)：20
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投資者問：固態(tài)激光光源的優(yōu)點是可變波長，可以產(chǎn)生深紫外光、極紫外光。理論上355nm激光光源經(jīng)一次曝光后可變?yōu)?75nm，二次曝光后變?yōu)?6nm，經(jīng)多次曝光后理論上可以應用于28nm以上光刻機。請問理論上這是可行嗎？公司是否有開展光刻機的研究計劃？謝謝
英諾激光(301021)：激光器的光學設計較為復雜，本著對負責的態(tài)度，公司無法簡單答復您是否可行。敬請諒解！公司未來發(fā)展計劃請關注公司公告。
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