盛美上海：等離子體增強(qiáng)原子層沉積爐管設(shè)備通過初步驗(yàn)證
2024-12-11 08:13
來源: 云財經(jīng)
影響力評估指數(shù)：21.13
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云財經(jīng)訊，盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司今日在官微宣布，其2024年推出的Ultra Fn A等離子增強(qiáng)型原子層沉積爐管設(shè)備(PEALD)已初步通過中國大陸一家半導(dǎo)體客戶的工藝驗(yàn)證，正在進(jìn)行最后優(yōu)化和為邁入量產(chǎn)做準(zhǔn)備。盛美上海(688082)還宣布，其于2022年推出的Ultra Fn A熱原子層沉積爐設(shè)備(Thermal ALD)也已成功通過另一家領(lǐng)先的中國大陸客戶的工藝驗(yàn)證，性能參數(shù)比肩同類國際競品，甚至更勝一籌。
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