北方華創(chuàng)“碳化硅晶體生長裝置”專利公布
2024-09-29 15:06
來源: 互聯(lián)網(wǎng)
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北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司公布了一項(xiàng)“碳化硅晶體生長裝置”專利。該裝置解決坩堝內(nèi)粉體溫度均勻性差的問題，涉及碳化硅單晶材料制造技術(shù)領(lǐng)域。裝置由坩堝、感應(yīng)線圈組件和蓋板組成，蓋板中心設(shè)置籽晶，坩堝內(nèi)至少一個(gè)感應(yīng)加熱件，感應(yīng)加熱件具有封閉連續(xù)外周面，在感應(yīng)線圈組件作用下產(chǎn)生感應(yīng)渦電流。該裝置可以改善坩堝內(nèi)粉體溫度均勻性。......
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