最新新聞: 北方華創(chuàng)“碳化硅晶體生長裝置”專利公布 09-29 15:06
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司公布了一項“碳化硅晶體生長裝置”專利。該裝置解決坩堝內(nèi)粉體溫度均勻性差的問題,涉及碳化硅單晶材料制造技術(shù)領(lǐng)域。裝置由坩堝、感應(yīng)線圈組件和蓋板組成,蓋板中心設(shè)置籽晶,坩堝內(nèi)至少一個感應(yīng)加熱件,感應(yīng)加熱件具有封閉連續(xù)外周面,在感應(yīng)線圈組件作用下產(chǎn)生感應(yīng)渦電流。該裝置可以改善坩堝內(nèi)粉體溫度均勻性。